Vakuum
Vakuumtechnik in der Halbleiterindustrie
Dieses Seminar vermittelt praxisnah die Grundlagen der Vakuumtechnik und deren Bedeutung in der Halbleiterfertigung. Die Teilnehmenden lernen Vakuumerzeugung, Messverfahren und typische Anwendungen in der Mikroelektronik kennen und erwerben ein Verständnis für den sicheren Betrieb von Vakuumsystemen.
Dauer
2 Tage
Abschluss
Teilnahmebescheinigung
Teilnehmer
max. 12 Personen
Ort
dca Schulungszentrum oder Inhouse
Aktuelle Termine
| Datum | Status | Anfrage |
|---|---|---|
| 12.10.2026 – 13.10.2026 | Freie Plätze | Angebot anfordern |
| 26.01.2027 – 27.01.2027 | Freie Plätze | Angebot anfordern |
| 16.03.2027 – 17.03.2027 | Freie Plätze | Angebot anfordern |
| 25.05.2027 – 26.05.2027 | Freie Plätze | Angebot anfordern |
Zielgruppe
- Fachkräfte aus der Halbleiterfertigung
- Mitarbeitende aus Produktion, Instandhaltung und Prozesstechnik
- Beschäftigte, die mit Vakuumanlagen arbeiten oder künftig arbeiten sollen
- Unternehmen, die Mitarbeitende praxisnah für den Umgang mit Vakuumsystemen qualifizieren möchten
Seminarinhalte
Grundlagen der Vakuumtechnik
- Definition und Einteilung von Vakuumbereichen
- Physikalische Grundlagen: Druck, Gasgesetze und Teilchenverhalten
- Bedeutung von Vakuum in der Halbleiterfertigung
- Leckagen, Ausgasung und Kontamination
Vakuumerzeugung und Komponenten
- Übersicht über Pumpentypen für Vorvakuum und Hochvakuum
- Funktionsweise typischer Vakuumpumpen
- Ventile, Leitungen und Dichtungssysteme
- Aufbau typischer Vakuumanlagen in der Halbleiterindustrie
Vakuummessung und Prozesskontrolle
- Messverfahren und Drucksensoren
- Überwachung von Prozessen im Vakuum
- Einfluss von Messfehlern auf Prozess und Anlage
- Bewertung typischer Anlagenzustände
Praxis, Wartung und Fehleranalyse
- Betrieb und Wartung von Vakuumsystemen
- Lecksuche und Fehlerdiagnose
- Typische Störungen und deren Ursachen
- Sicherer Umgang mit Vakuumanlagen
Abschluss
- Wiederholung und praktische Anwendung der Seminarinhalte
- Teilnahmebescheinigung nach erfolgreicher Teilnahme
Hinweise
Die Online-Anfrage wird aktuell eingerichtet. Bitte senden Sie Ihre Anfrage vorübergehend per E-Mail an info.dca@sbh-nordost.de oder kontaktieren Sie uns telefonisch.
Die Durchführung ist als offenes Seminar im dca Schulungszentrum möglich.
Praxisnahes Verständnis von Vakuumprozessen
Relevanz für Halbleiterfertigung
Sicherer Umgang mit Vakuumanlagen
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