AMC im Reinraum
Gasförmige Kontamination im Reinraum
AMC verstehen, bewerten und vermeiden
Dieses Seminar vermittelt praxisnah die Grundlagen und Auswirkungen gasförmiger Kontamination im Reinraum.
Die Teilnehmenden lernen, wie molekulare Verunreinigungen entstehen, wie sie Prozesse beeinflussen und welche Maßnahmen zur Vermeidung und Kontrolle eingesetzt werden können.
Termine
Dieses Seminar bieten wir aktuell auf Anfrage an.
Gerne stimmen wir Termine, Inhalte und Schwerpunkte individuell mit Ihnen oder Ihrem Unternehmen ab.
Termin anfragenZielgruppe
- Mitarbeitende aus Reinraum, Produktion und Qualität
- Prozessingenieure und Techniker
- Personal aus Halbleiter- und Hightech-Industrien
- Unternehmen, die Kontamination gezielt reduzieren möchten
Seminarinhalte
Grundlagen der gasförmigen Kontamination
- Unterschied zwischen Partikeln und Molekülen
- Airborne Molecular Contamination (AMC)
- Klassifizierung und Arten gasförmiger Stoffe
- Typische Verbindungen (Säuren, Basen, VOC)
- Bedeutung für Reinräume
Quellen von Kontamination
- Mensch als Kontaminationsquelle
- Materialien und Ausgasung
- Einfluss von Prozessen und Chemikalien
- Reinigungs- und Hilfsstoffe
- Umgebungsbedingungen und Eintrag
Auswirkungen auf Prozesse
- Korrosion und Materialveränderungen
- Einfluss auf Halbleiterstrukturen
- Gate-Oxid-Schäden und Dotierungsänderungen
- Zusammenhang mit Yield-Verlusten
- Langzeitfolgen für Anlagen
Messung und Überwachung
- Grundlagen des AMC-Monitorings
- Messmethoden und Sensorik
- Grenzwerte und Bewertung
- Interpretation von Messdaten
- Einbindung in Qualitätsprozesse
Maßnahmen und Reinraumverhalten
- Vermeidung von Kontaminationsquellen
- Material- und Prozessauswahl
- Filter- und Lüftungskonzepte
- Richtiges Verhalten im Reinraum
- Praxisbeispiele und Best Practices
Abschluss
- Zusammenfassung der Seminarinhalte
- Diskussion praxisnaher Beispiele
- Teilnahmebescheinigung nach erfolgreicher Teilnahme
Hinweise
Die Online-Anfrage wird aktuell eingerichtet. Bitte senden Sie Ihre Anfrage vorübergehend per E-Mail an info.dca@sbh-nordost.de oder kontaktieren Sie uns telefonisch.
Das Seminar kann individuell angepasst und als Inhouse-Schulung durchgeführt werden.
Interesse an diesem Seminar?
Dieses Seminar kann individuell geplant werden. Bitte senden Sie uns Ihre Anfrage per E-Mail oder kontaktieren Sie uns telefonisch.
E-Mail: info.dca@sbh-nordost.de
Anfrage per E-Mail senden