Halbleitermesstechnik

Halbleitermesstechnik, Charakterisierung, Bauelemente, Qualtitätskontrolle

Zielgruppe: Ingenieure mit FH bzw. Universitätsabschluss


Nach dem Seminar verfügen die Teilnehmer über grundlegendes Verständnis der wichtigsten Verfahren zur Charakterisierung von Halbleiterwerkstoffen. Des weiteren werden die Teilnehmer befähigt eine Auswahl geeigneter Verfahren für die  Qualitätskontrolle bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen zu treffen.

Voraussetzungen: keine

Dauer: 4 Tage (32 UE)

Inhalt:

  • Kristallstrukturanalyse, Röntgenbeugung
  • Epitaxie-Schichten, Nanostrukturen
  • analytische Elektronenmikroskopie
  • Bandstruktur, Bandlücke, effektive Masse
  • piezoresistiver Effekt
  • Hall-Verfahren, CV-Methode
  • Fourier-Transformationsspektroskopie
  • Verunreinigungen und Defekte
  • Diffusionslänge
  • Metall-Halbleiterübergang, Schottky-Kontakt
  • Ohmscher Kontakt, Schichtwiderstand
  • Oxidschichten, Ellipsometrie
  • Bauelementkenndaten

Termine auf

 

 

Hinweis:

Wenn Sie an einer unseren Weiterbildungen teilnehmen möchten, können Sie unter bestimmten Voraussetzungen einen Zuschuss aus einem der Förderprogramme von Bund und Ländern beantragen. Der Kurs kann beispielsweise mithilfe eines Bildungsgutscheines finanziert werden.